ระบบ "เครื่องกำเนิดรูปแบบปริมาตร" หรือเรียกสั้นๆ ว่า VPG จาก Heidelberg Instruments ใช้เป็นหลักในการผลิตจำนวนมากในอุตสาหกรรม โดยใช้เลเซอร์ UV เพื่อสร้างโฟโตมาสก์ด้วยความแม่นยำและความเร็วสูง ซึ่งทำหน้าที่เป็นเทมเพลตสำหรับการผลิตไมโครชิป เซ็นเซอร์ LED และ MEMS (ระบบไมโครอิเล็กโทรเมคานิกส์) การใช้งานอื่นๆ ที่เป็นไปได้สำหรับระบบ VPG ได้แก่ การเขียนโครงสร้างจุลภาคโดยตรงบนเวเฟอร์
นอกเหนือจากความแม่นยำที่สูงมากแล้ว การทำงานตลอด 24 ชั่วโมงทุกวัน และเวลาในรอบการทำงานที่สั้นมากทุกวินาทียังเป็นส่วนหนึ่งของโปรไฟล์ความต้องการของไดรฟ์ในระบบอีกด้วย Michael Kappel หัวหน้าฝ่ายออกแบบระบบไฟฟ้ากล่าวว่า "นั่นเป็นเหตุผลที่เราพัฒนาส่วนประกอบหลักหลายชิ้น รวมถึงโต๊ะ XY ที่มีแบริ่งลมภายในบริษัท" เนื่องจากกระบวนการรับแสงเกิดขึ้นภายใต้สภาวะห้องปลอดเชื้อ จึงต้องเลือกส่วนประกอบของไดรฟ์ให้เหมาะสม โดยเฉพาะอย่างยิ่งกับสายส่งพลังงาน สัญญาณ และสื่อไปยังโต๊ะ XY แม้แต่อนุภาคฝุ่นที่เล็กที่สุดก็ทำให้คุณภาพของการรับแสงลดลง ข้อกำหนดอีกประการหนึ่งมีความสำคัญอย่างน้อยเท่าๆ กัน Kappel กล่าวว่า "ต้องหลีกเลี่ยงการรบกวนแม้เพียงเล็กน้อยในระหว่างการจ่ายพลังงาน เนื่องจากจะทำให้ความแม่นยำของการรับแสงลดลง"